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0574-27976124
| 品牌 | ROOKO/瑞柯 | 價格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 自動化度 | 全自動 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,航空航天,汽車及零部件,電氣 |
| 方塊電阻 | 10^-5～2×10^5Ω/□ | 電阻率 | 10^-5～2×10^5Ω-cm |
| 單點重復(fù)性 | ≤0.5% | 電阻精度 | ≤0.3%（標準電阻） |
| 適用范圍 | 晶圓、半導(dǎo)體襯底、選擇性發(fā)射極擴散片、電鍍銅電阻等 |
一、產(chǎn)品概述
ROOKO 瑞柯微 FT-3110 全自動四探針測試儀是一款專為材料電阻檢測設(shè)計的精密儀器，融合的測量技術(shù)與智能操作功能，為科研實驗與工業(yè)生產(chǎn)提供穩(wěn)定可靠的檢測解決方案。儀器采用鎢鋼材質(zhì)探針，機械游移率≤0.3%，確保測試數(shù)據(jù)的準確性與重復(fù)性。
二、核心功能
測量參數(shù)：可同時檢測電阻率、方塊電阻、材料厚度等關(guān)鍵指標，滿足多維度檢測需求。
自動化操作：支持自動正 / 負電流輸出與電壓測量，兼容單點、五點、面掃描等多種測試模式，測試點數(shù)可自由設(shè)置。
數(shù)據(jù)處理：專業(yè) V4.0 分析軟件可實現(xiàn)數(shù)據(jù)采集、統(tǒng)計分析、單位換算，生成 2D/3D 掃描圖譜與詳細測試報表，支持數(shù)據(jù)導(dǎo)出與打印。
靈活適配：探針壓力可調(diào)范圍 100-500g，載臺支持 2-12 寸圓形晶圓與 153mm×153mm 定制方片，適配不同規(guī)格樣品。
安全防護：具備限位量程保護、壓力保護、急停功能及異常警報，保障操作安全與設(shè)備穩(wěn)定。
三、技術(shù)參數(shù)
| 規(guī)格項目 | 技術(shù)指標 |
|---|---|
| 方塊電阻 | 10^-5～2×10^5Ω/□（FT-3110A）；10^-6～2×10^5Ω/□（FT-3110B） |
| 電阻率 | 10^-5～2×10^5Ω-cm（FT-3110A）；10^-6～2×10^5Ω-cm（FT-3110B） |
| 測試電流 | 0.1μA-100mA（FT-3110A）；0.1μA-1A（FT-3110B） |
| 電阻精度 | ≤0.3%（標準電阻） |
| 單點重復(fù)性 | ≤0.5% |
| 電源參數(shù) | AC 220V±10%、50Hz，功耗＜600W |
四、適用領(lǐng)域
半導(dǎo)體材料：晶圓、半導(dǎo)體襯底、選擇性發(fā)射極擴散片、電鍍銅電阻等；
新型材料：鐵電材料、納米材料、非晶硅 / 微晶硅材料等；
電子器件：太陽能電池、LCD、OLED、觸摸屏等；
科研與生產(chǎn)：高校實驗室、科研院所材料分析、電子制造業(yè)質(zhì)量檢測。
五、配置清單
標準配置：主機 1 臺、測試線 1 套、直線型四探針探頭 1 個、鍍金彈簧銅針與彈簧鎢針各 1 組、分析軟件 1 套、計量證書 1 份；
可選配件：2-12 寸晶圓樣品臺、定制規(guī)格探針、電腦 + 打印機、1-3 年延保服務(wù)。
六、產(chǎn)品優(yōu)勢
ROOKO 瑞柯微 FT-3110 全自動四探針測試儀 憑借寬量程測量、高精度數(shù)據(jù)、智能化操作與廣泛適配性，成為材料電阻檢測領(lǐng)域的優(yōu)選設(shè)備。儀器通過嚴格質(zhì)量檢測，提供 13% 增值稅專用發(fā)票，搭配專業(yè)的技術(shù)支持與售后服務(wù)，全程保障設(shè)備穩(wěn)定運行。
